D07-15質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-15是七星流量計(jì)專門針對(duì)客戶對(duì)流量穩(wěn)定性的需求研發(fā)的高穩(wěn)流型產(chǎn)品。
D07-15質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-15是七星流量計(jì)專門針對(duì)客戶對(duì)流量穩(wěn)定性的需求研發(fā)的高穩(wěn)流型產(chǎn)品。
特點(diǎn)
• 高穩(wěn)流型
• 小體積，低波動(dòng)
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用P20金手指插頭
D07-15質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
項(xiàng) 目 | D07-15 | D07-15A |
流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準(zhǔn)確度 | ±1% F.S. | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4 sec | |
工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.3) MPa | |
大工作壓力 | 0.5 | |
耐壓 | 3 MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |
輸入輸出信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
電源 | +15V 50mA | |
重量 | 0.85 kg | 0.9 kg |
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